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mocvd设备介绍(mocvd设备)

发布时间:2024-06-22 03:31:04来源:

MOCVD全名叫有机金属化学气象沉积设备,是在蓝宝石设备上生长GaN的薄膜的专用设备,GaN材料是化合物半导体材料的一种。

它是用来做LED(发光二极管)的主要材料。

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